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安全にお使いいただくために PDF
3・4ポート/小形真空用直動形電磁弁/ポペットシール
VA01シリーズ/個別注意事項 PDF
VA05シリーズ/個別注意事項 PDF
アプリケーション回路例 PDF
VAシリーズ特長 PDF
VA シリーズ
形式 ポート数 真空流量
(L/min(ANR))
ポートサイズ 配管
VA01P□24 4 - M5 サブベース
VA05P□24 - Rc1/8
VA01PS□23 3
(2位置)
22 M5
VA01PL□23 22
VA01PEP34 3
(3位置)
20
VA01RDP33 10 直接
直動形3ポート2位置電磁弁 VA01 23シリーズ
シングルソレノイドに新タイプ登場!高速応答ON3ms/OFF3ms
ボディ幅10mmの小形3ポート直動形電磁弁ではクラス最大級の
大流量
真空 0.2 dm3/(s・bar)  正圧 0.12dm3/(s・bar)
プラスティックボディ採用により質量25gと超軽量
カタログ/PDF
直動形4ポート2位置電磁弁 VA01 24シリーズ(巾10mm)
超高速応答タイプをラインアップ ON3ms/OFF1.5ms
巾10mmでCv値 0.2dm3/(s・bar)と小形・大流量
主弁は摺動部のないダブルポペット構造を採用し、長寿命
5億回をクリア(当社試験条件にて)
カタログ/PDF
                 VA05 24シリーズ(巾15mm)
高性能「積層形ソレノイド」採用によりソレノイド磁気効率を
大幅にアップ!
大流量 C値 0.7dm3/(s・bar) と 高速応答 ON5.5ms/OFF
3msを実現
長寿命 1億回(当社試験条件にて)をクリア
カタログ/PDF
直動形3ポート3位置電磁弁 VA01RDP33シリーズ
クローズドセンタ形3ポジション電磁弁、直接配管モデル
真空破壊の流路にニードル弁を設け、吸着ワークに合わせて
真空破壊流量の調整が可能
真空流量調整用絞り弁付マニホールド(オーダメイド)
カタログ/PDF
直動形4ポート3位置電磁弁 VA01PEP34Aシリーズ
独自の大気開放機構付き3ポジション電磁弁、サブベース
配管モデル
真空破壊の流路にニードル弁を設け、吸着ワークに合わせて
真空破壊流量の調整が可能
微圧(50kPa~)の真空破壊が可能で、微小ワークの吹き飛ばし
を防止
カタログ/PDF
パイロット・ポペット形3ポート電磁弁
PV07シリーズ/個別注意事項 PDF
PV07PS23/RS23シリーズ
高速応答 ON/OFF 6ms
コンパクト
   幅11mm PV07PS23 (サブベース形)
   幅15mm PV07RS23 (直接配管形)
ラージフロー CV 0.35, 450L/min at 0.5MPa
カタログ/PDF
圧力/真空センサー
用途に合せて最適なセンサの選択が可能

2色表示式圧力センサ MPS-32シリーズ
デジタル2色表示
簡単操作

分離形圧力センサヘッド MPS-8シリーズ
小形、軽量、多彩な圧力ポート仕様

分離形圧力センサ表示ユニット MPS-7シリーズ
表示ユニットがセンサヘッドと分離
真空圧・標準圧・連成圧を見やすい場所で圧力管理可能
カタログ/PDF
真空発生機器/ベッカードライ真空ポンプ
VT4シリーズ
脈動のないロータリーベーンタイプ
完全ドライ、オイルレス
モーター一体のコンパクトで斬新な設計
静音、長寿命でメンテナンスフリー
高真空度 到達真空度-85kPa(常用)
クリーンルームクラス1000対応可能
(オプション:外付けフィルター)
カタログ/PDF
関連機器/インラインフィルタ・真空フィルタ
LFシリーズ
通気性優先の粗メッシュタイプ・新登場
小型コンパクト
用途スペースに応じたバリエーション
正圧 ブロー用として使用可能
カタログ/PDF
LFMシリーズ
高ろ過精度0.01μmしかも大流量
ミスト除去に対応
サイレンサ
SLシリーズ
シリーズ ポートサイズ
SL-1 Rc1/8
SL-2L Rc1/4
SL-6 Rc3/4
SL-8 R1
カタログ/PDF
エアマフラ
AS シリーズ
シリーズ ポートサイズ
AS-5 M5×0.8
AS-6 Rc1/8
AS-8 Rc1/4
AS-10 Rc3/8
AS-15 Rc1/2
カタログ/PDF
真空技術資料 PDF
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